国家/地区 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 台湾(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 印度(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/02(3) C01B031/04(3) H01L051/00(2)
发明人 MILLEN K(3)
公开年
申请年 2013(3)
专利权人 BASF CHINA C.(3) BASF SE(3) MAX PLANCK G.(3)