国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C04(4) C01(3) H01(3)
B82(2)
IPC小类 C04B(4)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2)
C01B031/04(2) H01B001/04(2) H01L021/20(2)
发明人
公开年 2010(4)
申请年 2010(2) 
专利权人