国家/地区 |
美国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C04(4)
C01(3)
H01(3)
B82(2) |
IPC小类 |
C04B(4)![]() |
IPC |
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
C01B031/02(2)
C01B031/04(2) H01B001/04(2) H01L021/20(2) |
发明人 | |
公开年 |
2010(4)![]() |
申请年 | 2010(2) |
专利权人 |
OH I K, SRIDHAR V, JEON J H
COLOMBO L, WALLACE R M, RUOFF R S