国家/地区 | 美国(2) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C01B031/04(3)
C23C014/34(2)
C23C016/26(2)
H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2016(3)![]() |
申请年 |
2016(3)![]() |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M