国家/地区 | 美国(2) |
IPC部 |
C(2)![]() |
IPC大类 |
C01(2)![]() |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC |
C01B031/04(2)
C23C016/26(2)
C30B025/02(2)
H01L029/16(2) |
发明人 | ZHANG Y(2) |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
ZHANG Y(2)![]() |