国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) B82Y(4)
H01L(4) B32B(2) C09D(2)
H01G(2)
IPC C01B031/04(5) B82Y040/00(4) B82Y030/00(3)
C01B000/00(3) C01B031/02(3) C01B032/186(3)
C23C016/26(3) H01L021/02(3) C01B032/194(2)
发明人
公开年 2013(2)
申请年 2013(3) 
专利权人 UNIV CALIFOR.(2)