| 国家/地区 |
中国(2)
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| IPC部 |
C(2)
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| IPC大类 | C01(2) C23(2) |
| IPC小类 |
C01B(2)
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| IPC |
C23C016/26(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2013(2)
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| 申请年 | 2013(2) |
| 专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
