| 国家/地区 |
日本(2)
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| IPC部 |
C(2)
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| IPC大类 |
C01(2)
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| IPC小类 | C01B(2) C23C(2) |
| IPC |
C23C028/00(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
KAZUOMI S, KAZUHIRO T, YASUHIRO Y, MAYUMI K, RYOTA Y, SATO K, TOKUNAGA K, YUZUHARA Y, KOSAKA M, YUGE R
