国家/地区 中国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B32(3)
IPC小类 B32B(3)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/02(3)
C01B031/04(3) B32B027/06(2) H01L021/02(2)
H01L021/20(2)
发明人
公开年 2011(2)
申请年 2009(3)
专利权人