国家/地区 | 日本(2) 韩国(2) 美国(2) |
IPC部 |
B(2)![]() |
IPC大类 |
C01(2)![]() |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC |
C23C016/26(2)![]() |
发明人 |
WOO Y S(2)![]() |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
KIM D J, HONG B H, WOO Y S, KIM D, YU Y S
WOO Y, SEO D, SEO S, CHUNG H, KANG S, HEO J, SEO S A, CHUNG H J, KANG S R, HEO J S, WOO Y S, JUNG H J, HUH J S, YEO R, XU D, HUH J, JUNG H