国家/地区 | 中国(3) 美国(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(2) |
申请年 | 2021(2) |
专利权人 |
FANG X, HE X, ZHOU X, DOU L, YANG S, SUN A, CAO Y
WU M Y, HSIEH C, PENG C, WU Y, XIE C, HSIEH C Y, PENG C S