| 国家/地区 | 韩国(2) |
| IPC部 | C(2) H(2) |
| IPC大类 |
C23(2)
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| IPC小类 | C23C(2) H01L(2) |
| IPC | C23C016/26(2) |
| 发明人 | CHO K W(2) |
| 公开年 | 2020(2) |
| 申请年 |
2019(2)
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| 专利权人 |
CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(2)
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