国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(4) C03C(2) C23D(2)
H01L(2) H05B(2)
IPC C03C008/00(2) C23C014/14(2) C23C014/35(2)
C23C016/26(2) C23D005/04(2) H01L041/047(2)
H01L041/113(2) H01L041/29(2) H05B003/18(2)
H05B003/48(2)
发明人 LIU C(6)
公开年 2016(6)
申请年 2016(6) 
专利权人 GUANGDONG MA.(2) LIAONING ADV.(2) SHENYANG INS.(2)