| 国家/地区 | 美国(2) |
| IPC部 |
C(2)
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| IPC大类 |
C01(2)
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| IPC小类 |
C01B(2)
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| IPC |
C23C014/06(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2020(2)
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| 申请年 | 2019(2) |
| 专利权人 |
SUNG C, HU S C, LIN I, YU C
KIM C, SHIN H, BYUN K, SHIN K, LEE C, NAM S, AN S, LEE J, CHO Y, SHIN H J, BYUN K E, SHIN K W, LEE C S, NAM S G, AHN S J, LEE J H, LEE J I, CHO Y C
