国家/地区 台湾(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(3) H(3) B(2)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) C01B(2) H01L(2)
IPC C23C014/06(3)
发明人
公开年 2010(3)
申请年 2009(3) 
专利权人