| 国家/地区 | 台湾(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(3)
H(3)
B(2)
|
| IPC大类 |
C23(3)
|
| IPC小类 |
C23C(3)
C01B(2)
H01L(2)
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| IPC |
C23C014/06(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2010(3)
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| 申请年 | 2009(3) |
| 专利权人 |
RAMAPPA D A, SULLIVAN P, RAMAPPA D
HYEONG LEE J, SIN HWANG Y, WON CHA S
