国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) H01L(2)
IPC C23C016/26(3)
发明人 WANG C(3)
公开年 2016(3)
申请年 2016(3)
专利权人 LIAONING ADV.(2) SHENYANG INS.(2)