国家/地区 | 中国(2) 美国(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)![]() |
IPC小类 |
C23C(4)
H01L(3)
C01B(2)
|
IPC |
C23C016/27(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) 2022(2) |
申请年 |
2021(4)![]() |
专利权人 |
LIU H, GUAN L, WANG B, ZHANG W, XIONG Y
KOVI K K, SCHIRMANN E, KHAN A