国家/地区 中国(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 B32(2)
IPC小类 B32B(2)
IPC B82Y040/00(2) C01B031/02(2) C01B031/04(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2010(2)
申请年 2009(2) 
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J