国家/地区 |
韩国(2)![]() |
IPC部 | C(2) H(2) |
IPC大类 |
C01(2)![]() |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC | C23C016/26(2) H01L021/02(2) |
发明人 | HAM M H(2) SON M W(2) |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(2)![]() |
HAM M H, SON M W, MYUNGWOO S