| 国家/地区 | 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 韩国(2) |
| IPC部 |
C(5)
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| IPC大类 |
C01(5)
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| IPC小类 |
C01B(5)
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| IPC |
C23C016/26(5)
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| 发明人 |
JEON S(3)
LEE J(2)
OH S(2)
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| 公开年 |
2012(5)
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| 申请年 | 2011(3) 2012(2) |
| 专利权人 | KOREA ADV IN.(2) KOREA ADVANC.(2) |
JIANG K, LIN X, XIAO L, FAN S, LIN X Y, FAN F Y
JEON S, LEE J, OH S, RAN O S, SEOP L J, U JEON S, JIN S L, SE R O, SEOK W J
JIN J, JEON S, LEE Y, HONG Y
