| 国家/地区 | 韩国(3) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(3)
|
| IPC大类 |
C01(3)
|
| IPC小类 |
C01B(3)
|
| IPC |
C23C016/26(3)
|
| 发明人 | |
| 公开年 |
2017(3)
|
| 申请年 | 2016(2) |
| 专利权人 |
SHIVAREDDY S, BOHM S, PATOLE S, THAKUR D B, VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S
YOON S, PARK B, YOON S G, PARK B J
