| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 |
A(3)
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| IPC大类 |
A61(3)
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| IPC小类 |
C23C(3)
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| IPC |
C23C028/04(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 |
2021(3)
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| 专利权人 |
ZHENG X, XIE Y, SHAO D, LIU S, YAN Z, LI K
ZHU J, HAN F, SHEN Q, ZHU Y, LUO H, GUO B, LIU Y
LIM H P, SANGWON P, JI M K, SEUNG K, CHO H S, PARK C, KIM H
