国家/地区 美国(2)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2)
IPC小类 C01B(2)
IPC C01B031/04(2) C23C014/24(2) C23C014/34(2)
C23C016/06(2) C23C016/26(2) C23C016/455(2)
C25D005/54(2) H01L021/02(2) H01L021/283(2)
发明人 ZARETSKI A(2)
公开年
申请年
专利权人 UNIV CALIFOR.(2)