国家/地区 美国(3)
IPC部 C(3) H(3) B(2)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C018/16(2)
发明人 JANG B Z(3) ZHAMU A(3) LIN Y(2)
公开年 2019(2)
申请年 2018(2) 
专利权人 NANOTEK INSTR INC(3)