国家/地区 | 日本(2) |
IPC部 |
B(2)![]() |
IPC大类 |
C01(2)![]() |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC |
C23C014/14(2)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
NARUTSUKA S, NAKAJIMA R
HASEGAWA MASATAKA, ISHIHARA MASATOU, KOGA YOSHINORI, KIM JAEHO, TSUGAWA KAZUO, IIJIMA SUMIO, HASEGAWA M, ISHIHARA M, KOGA Y, KIM J, TSUGAWA K, IIJIMA S, YOSHINORI K, HO K J, KAZUO T, SUMIO I, MASATAKA H, MASATOU I, JAEHO K