国家/地区 |
日本(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 |
C23C(3)![]() |
IPC |
H01J009/02(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
MURAKAMI K, NAGAO M, KATSUHISA M, MASAYOSHI N
IIJIMA R, URAYAMA M, KYOTANI T, OGAWA T, TOMITA A