国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(2)![]() |
IPC部 |
C(2)![]() |
IPC大类 |
C23(2)![]() |
IPC小类 |
C23C(2)![]() |
IPC |
H01J009/02(2)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
MURAKAMI K, NAGAO M, KATSUHISA M, MASAYOSHI N