国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 H01J(5)
IPC C23C016/26(3) H01J009/02(3) C23C016/44(2)
C23C028/00(2)
发明人
公开年 2022(5)
申请年 2021(3) 
专利权人