国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
H01J(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(3)
H01J009/02(3)
C23C016/44(2)
C23C028/00(2) |
发明人 | |
公开年 |
2022(5)![]() |
申请年 | 2021(3) |
专利权人 |
ZHANG X, LEI W, ZHAO Z, ZHAO N
LIU H, GUAN L, WANG B, ZHANG W, XIONG Y
QIN C, LI T, WANG Q, LOU H, SHI L, LUO L, HUANG S