国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC H01J001/304(3)
发明人 LI K(2) LI Z(2) SONG G(2)
公开年 2016(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 UNIV QINGDAO.(2)