国家/地区 德国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B32(3)
IPC小类 B32B(3) B82Y(3) C01B(3)
C23C(3) H01L(2)
IPC B32B009/04(3)
发明人
公开年 2013(2)
申请年
专利权人 INT BUSINESS.(3)