| 国家/地区 |
美国(3)
|
| IPC部 |
C(3)
B(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
C01(3)
|
| IPC小类 |
C01B(3)
|
| IPC |
C01B031/04(3)
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
C23C016/26(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 |
2013(3)
|
| 专利权人 |
PAPAKONSTANTINOU P
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
PAWLOSKI A R, BENNETT G S, CERNOHOUS J J, KASKE K, SZYMANSKI A E
