国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B32(3)
IPC小类 B32B(3) C01B(3) C25F(3)
B82Y(2) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(3)
发明人
公开年
申请年
专利权人