国家/地区 中国(3) 美国(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C25(4)
IPC小类 C25D(4)
IPC B82Y040/00(2) C01B031/04(2) C23C014/34(2)
C23C016/26(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(4)
申请年 2016(4)
专利权人