国家/地区 韩国（2）
IPC部 B（2）
IPC大类 B01（2） C01（2） H01（2）
IPC小类 B01D（2）
IPC C01B031/04（2）
发明人
公开年
申请年 2016（2）
专利权人

Preparing high performance nanoporous graphene foam involves preparing solution containing starch and metal precursor; coating solution on mold for producing foam and forming graphene having nanoporous structure containing metal.

JANG J H, KWAK M

Method for manufacturing pellicle for lithographic apparatus involves removing first substrate portion to form freestanding membrane from graphene layer, in which freestanding membrane is supported by second substrate portion.

PETER M, ABEGG E A, GIESBERS A J, KLOOTWIJK J H, NASALEVICH M A, VAN DEN EINDEN W T, VAN DER ZANDE W J, VAN ZWOL P, VERMEULEN J P M, VLES D F, VOORTHUIJZEN W, GIESBERS A J M, VAN ZWOL P J, VOORTHUIJZEN W P, VAN DEN EINDEN W T A J, VERMEULEN J P M B