| 国家/地区 | |
| IPC部 | B(2) C(2) |
| IPC大类 |
B01(2)
|
| IPC小类 |
B01J(2)
|
| IPC |
C23C014/08(2)
|
| 发明人 | |
| 公开年 | 2022(2) |
| 申请年 |
2022(2)
|
| 专利权人 |
CHEN X, HOU M, YAN L, XIE B, GUO Y, CHEN Y
DASH J K, ABZAL S M, KALYAN K, JANGA S L
