| 国家/地区 | |
| IPC部 |
B(2)
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| IPC大类 |
B01(2)
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| IPC小类 |
B01J(2)
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| IPC |
C23C014/58(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 |
2021(2)
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| 专利权人 |
CHENG H, ZHONG S, MO H, ZENG Y, WANG Z, WANG Y, LIU Y, HU M, WU H, CAO Y
VINIT K, KIM H U, LEE J, SEOK H, KIM T, KIM T S, SEOK H H, WOO K H, CANADEVINIT
