国家/地区
IPC部 B（2）
IPC大类 B01（2） C23（2）
IPC小类 B01J（2）
IPC C23C016/455（2）
发明人
公开年
申请年 2020（2）
专利权人

New platinum-containing compound useful in precursor composition for producing platinum-containing thin film.

CHANG K, SHIN H S, PARK T J, KWON S H

Preparing a antimony oxychloride material based on ALD technology useful e.g.in the field of photocatalysis comprises e.g. alternately passing vaporized antimony source antimony trichloride and oxygen source water into the reaction chamber.

DU L, HE D, DING Y