国家/地区 | |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B01(3)![]() |
IPC小类 |
B01J(3)![]() |
IPC |
C23C016/455(3)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2022(3)![]() |
申请年 | 2022(2) |
专利权人 |
CHANG K, SHIN H S, PARK T J, KWON S H