国家/地区 | |
IPC部 |
B(2)![]() |
IPC大类 |
B01(2)![]() |
IPC小类 |
B01J(2)![]() |
IPC |
C23C014/18(2)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(2)![]() |
申请年 | |
专利权人 |
KIM T S, SEOK H H, LEE I, WOO K H
LIU D, WANG J, SHENG H, LI Z, ZHU Y, LV G