国家/地区 | 中国(2) 美国(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)![]() |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC |
C23C016/00(3)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(3)![]() |
申请年 | |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
ARNOLD M S, GOPALAN P, SAFRON N S, KIM M, UNG K M