国家/地区 |
德国(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)
H01(3)
C23(2)
H05(2) |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC | H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 | 2011(2) |
申请年 |
2010(3)![]() |
专利权人 |
ADLER U, RODE D, BURESCH I, WANG J, FRECKMANN D, SCHMIDT H, ROHDE D, WANG Y
MCFEELY F R, YURKAS J J, OIDA S, HANNON J B