国家/地区 美国(4) 中国(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 B32(4)
IPC小类 B32B(4)
IPC C01B031/04(4) B32B009/00(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B031/02(2) C23F001/00(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2010(4)
申请年 2009(4)
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J