国家/地区 | 韩国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 | B(4) C(4) |
IPC大类 |
B32(4)![]() |
IPC小类 |
B32B(4)![]() |
IPC |
C23C026/00(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2014(2) |
申请年 |
2012(4)![]() |
专利权人 |
KIM J K, YUN H C, YOO H J, KIM J S, JUNG Y G, KIM J, YUN H, YOO H, JUNG Y, LIU H
MAKSIMOV E A, STARSHIKH V V