| 国家/地区 | 韩国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(4)
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| IPC大类 |
B32(4)
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| IPC小类 |
B32B(4)
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| IPC |
C23C026/00(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2014(2) |
| 申请年 |
2012(4)
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| 专利权人 |
KIM J K, YUN H C, YOO H J, KIM J S, JUNG Y G, KIM J, YUN H, YOO H, JUNG Y, LIU H
MAKSIMOV E A, STARSHIKH V V
