国家/地区 |
中国(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)![]() |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC |
B05D005/12(2)
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
C01B031/02(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2) H01L021/20(2) H01L027/12(2) |
发明人 | |
公开年 |
2011(3)![]() |
申请年 | 2010(2) |
专利权人 |
ADLER U, RODE D, BURESCH I, WANG J, FRECKMANN D, SCHMIDT H, ROHDE D, WANG Y
MCFEELY F R, YURKAS J J, OIDA S, HANNON J B