国家/地区 中国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B32(3)
IPC小类 B32B(3)
IPC B05D005/12(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B031/02(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
H01L021/20(2) H01L027/12(2)
发明人
公开年 2011(3)
申请年 2010(2) 
专利权人