国家/地区 世界知识产权组织（3）
IPC部 C（3）
IPC大类 C01（3） C23（3） H01（3）
IPC小类 C01B（3）
IPC C23C016/26（3）
发明人 HEE L（2） HYUN L J（2） IMSUNGWOO（2）
JEON Y M（2） LEE H S（2） LIM H H（2）
LIM J（2） LIM J C（2） LIM S W（2）
PARK J G（2）
公开年 2022（3）
申请年 2021（2） 
专利权人 DAEJOO ELECT.（2）

Processing substrate by loading substrate into processing container, forming carbon film on substrate with plasma of mixed gas containing carbon-containing gas while inside of processing container is maintained at pressure, and changing inside of processing container.

WADA M, IFUKU R, MATSUMOTO T, YAMADA H, TAKASHI M

Porous silicon-carbon composite used for negative electrode active material for lithium secondary battery, comprises silicon particles, magnesium fluoride, and carbon.

LIM J C, LEE J, JEON Y M, LIM S W, PARK J G, LEE H S, LIM H H, NAM S J, LEE E, LIM J, HYUN L J, IMSUNGWOO, HEE L, JIN N, PARK S

Porous silicon-based carbon composite used for forming negative electrode active material, comprises silicon particles capable of intercalating and de-intercalating lithium, magnesium compound, and carbon, and has preset molar ratio of magnesium atoms with respect to silicon atoms.

PARK J G, LEE H S, JEON Y M, OH S M, PARK H S, LIM S W, LIM H H, LIM J C, LEE J H, HUNSOO P, IMSUNGWOO, HEE L, LIM J, HYUN L J