国家/地区 美国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) C23(3) B82(2)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C016/02(3)
发明人 NAGEL C J(2)
公开年 2021(3)
申请年 2020(3)
专利权人 QUANTUM ELEM.(2)