| 国家/地区 | 美国(3) |
| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C01(3)
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| IPC小类 |
C01B(3)
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| IPC |
C23C016/02(3)
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| 发明人 | NAGEL C J(2) |
| 公开年 | 2021(3) |
| 申请年 |
2020(3)
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| 专利权人 | QUANTUM ELEM.(2) |
