国家/地区 | 日本(2) |
IPC部 | C(2) |
IPC大类 | C01(2) C23(2) |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC |
C23C016/511(2)![]() |
发明人 | KIM J H(2) |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(2)![]() |
YAMADA T, HASEGAWA M, TSUKAHARA N, SHIMADA N, YAZAWA K, KIM J H