| 国家/地区 | 美国(2) |
| IPC部 |
C(2)
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| IPC大类 |
C01(2)
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| IPC小类 |
C01B(2)
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| IPC |
C23C016/02(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2021(2)
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| 申请年 | |
| 专利权人 |
KOVI K K, SCHIRMANN E, KHAN A
LEE E, SHIN H, SHIN K, BYUN K, KIM C, LEE C, LEE C S, BYUN K E, SHIN K W, SHIN H J
