国家/地区 中国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2）
IPC小类 C01B（2）
IPC
发明人 LIN C（2）
公开年 2018（2）
申请年
专利权人

Preparing graphene by direct stripping of ionic liquid comprises mixing graphite and ionic liquid, stirring reaction, adding water, stirring and collecting precipitate, washing precipitate and then drying.

LIANG Y, LI G, LIN C, ZHU H, CHEN G, YANG Z

Method of making a pellicle for use in extreme ultraviolet (EUV) lithography system, by depositing graphene layer over first material layer, and depositing amorphous silicon layer over graphene layer.

TU C, CHEN C, YOO C S, CHANG J, TSAI C, LIU P, LEE H, LIN C, LIN Y, TU Z, CHEN J, CAI J, YOU Q, ZHANG Z, LIN Z, LIU B, LI X, YOO C